Peneliti : Ratih Resti Astari dan Rifki Septawendar

Abstrak

Lapisan film tipis zironia merupakan bahan yang memiliki sifat dan karakteristik menakis dan fisis yang sangat baik, indeks bias dan nilai band-gap yang tinggi, sifat absorpsi yang rendah dan sifat Adhesi yang baik tehadap substarat,stabilitas termal yang tinggi, ketahanan korosi yang baik, serta Bioaktiv dan biokompatibilitas. Oleh karena itu, lapisan film tipis zirkonia memiliki prospek penggunaan yang sangat potensial untuk keramik,seperti konduktor ion oksigen dan sensor oksigen, sebagai lapisan Pembatas temal, untuk lapisan penyangga dalam perangkat superkonduktor, laser, bidang katalis, sebagai bahan dielektrik, dan untuk pengguanaan di bidang biomedis seperti untuk implan dalam tubuh Manusia. Makalah ini mengulas sifat-sifat penting lapisan film zirkonia termasuk di dalamnya sintesis dan penggunaannya.

Kata Kunci : zirkonia,lapisan film tipis, sifat fisis dan mekanis, sifat listrik, sifat optik, dan sifat kimia